清华举行2019年我国平整化技能大会
来源:知否网 发表于2019-07-07 04:58:55 编辑:孙亚芳
摘要: 6月2日电 (通讯员 王同庆)5月28日、29日,由我国平整化技能联盟主办、清华大学承办的2019年我国平整化技能大会暨海峡两岸平整化技能论坛在清华大学举

  

   6月2日电 (通讯员 王同庆)5月28日、29日,由我国平整化技能联盟主办、清华大学承办的2019年我国平整化技能大会暨海峡两岸平整化技能论坛在清华大学举办。平整化技能相关范畴的专家、学者和研讨生一百余人参加了此次大会。

   清华大学校长助理、机械工程学院院长尤政院士,我国半导体行业协会执行副理事长、秘书长徐小田,国家自然科学基金委工程与资料科学部常务副主任拂晓,清华大学机械系主任、世界冲突学会副主席雒建斌院士到会开幕式并致辞。大会由会议主席、我国平整化技能联盟主席、清华大学机械系路新春教授掌管。

  尤政致辞。

   在为期两天的会议议程中,台湾科技大学陈炤彰教授、华侨大学副校长徐西鹏教授、国防科技大学戴一帆教授等专家、学者和业界代表为我们做了35场学术陈述。此外,还有22位与会者进行了粘贴沟通。各界专家学者环绕平整化技能的机会和应战,就CMP前沿技能、抛光工艺与后清洗、CMP耗材、CMP机理与仿真、硬质资料CMP等重要议题,共享研讨和考虑取得了一系列重要的沟通效果。

  论坛现场。

   本次会议设立了优异陈述奖,通过赞誉在学界和业界的立异思维与研讨,推进平整化技能研讨和使用不断进步。通过专家仔细评选,终究评出优异陈述3篇。闭幕式上,路新春为优异陈述获奖者颁奖。

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